Düşük Basınçlı Plazma Sistemi Aurora Plus

Aurora Plus, ince film plazma kaplamalarının gelişmiş birikimi için bir platformdur. Plazma ile Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD), düşük CoF, hidrofilik ve hidrofobik kaplamalar gibi kaplama seçeneklerine ve özelliklerine izin verir.

Bu da onu otomotiv endüstrisi, tıbbi cihaz teknolojisi ve sızdırmazlık sistemleri üretimi gibi çok sayıda uygulama alanı için uygun bir süreç haline getirmektedir. Sıkı proses kontrolü ve reçete saklama sistemleri, endüstriyel seri üretimde ve Ar-Ge uygulamalarında güvenli bir işleme sağlar.

ANA
ÖZELLİKLER

Aurora Plus Sistemi için

  • Karmaşık parçaların eşit şekilde işlenmesi için tam birincil plazma daldırma
  • Birden fazla rafta veya daha büyük parçalarda işlem yapmak için benzersiz yan duvar elektrotları
  • Oda Boyutları: 21,5“ x 15,74” x 16,5"
  • Sıkı proses kontrolü için dokunmatik ekranlı PLC kontrolü
  • Şifre koruması altında proses reçetesi depolama
  • Hassas gaz akışı ve karıştırma için Çoklu Kütle Akış Kontrolörleri
  • 1000 watt, 13,56 RF jeneratör ve otomatik eşleştirme ağı
  • Termal kontrollü sıvı prekürsör dağıtımının eklenmesi
  • Jeneratör titreşim seçeneği
  • Isıtmalı hazne seçeneği
Loading...