Konu: Silisyum devre kartlarında plazma işlem. Waferler için nano plazma temizlik, hassas temizlik. Nano yapılarda hassas temizlik. Wafer temizliği.

Silisyum devre kartlarında nano plazma temizlik

Wafer üretimindeki ilk parça bir yarı iletken malzeme bloğudur. Bu önce kesilir (dilimlenir) ve ardından kimyasal/mekanik yöntemlerle gerekli yüzey pürüzlüğü nanometreyle ölçülen düzeyde perdahlanır.

Nanoreinigung eines WaferPerdahlanmış ve plazma işlemden geçmiş wafer

Sonraki aşamada bu nano yapıların hassas temizliği için etkili ve kolay bir yöntem olan Openair® plazma kullanılır. Tüm hidrokarbonlar ve zerreler %100 oranında temizlenir. Hata oranı Openair® plazma temizlik sayesinde büyük ölçüde düşürülebilir.

ana konuya geri dön Wafer-Chips

Plasmatreat GmbH
Türkiye irtibat bürosu
Ataşehir Bulvarı,62 Ada
Gardenya Plaza 3, D:28
34758 Ataşehir – Istanbul

Tel. +90 216 456 92 72
Faks +90 216 456 92 83

info@plasmatreat.com.tr

"Give Leaks No Chance" - Plasma-pre-treatment protects electronics
Secure protection for electronic components
Glasstec 2016
Glasstec 2016
International Trade Fair for Glass Processing, Production and Products

20. – 23. Eylül 2016
Hall 11, Booth G46
Düsseldorf, Germany

Micronora 2016
International microtechnology and precision trade fair

27. – 30. Eylül 2016
Micropolis / Parc des Expositions
Besancon Cedex, France

Language